芯片测试机

对晶粒参数进行高精密测量，生成MAP图，满足分选制程需求。

指标

• 定位精度±10μm
• 产能28K每小时
• 高速影像扫描定位
• 外观不良品检测
• 线性马达直线电机
• 探针接触压力可调

方案

自主设计，方案先进：

《芯片测试机技术方案》